洁净室净化工程验收的方式有哪些
洁净室净化工程验收的方式有哪些?净室工程的验收可分为空态、静态、动态。竣工验收阶段的检测宜在空态或静态下进行,应由建设方、设计方和施工方协商确定,一般是在空态下进行;功能验收阶段的检测应在静态下进行。
一、空态验收(IQ)
设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备、材料及人员
检测项目:洁净室设备的成套性、安装质量、压差、气流特性、表面洁净度、维护结构的密封性等。
二、静态验收(OQ)
设施已经建成,生产设备已经安装,并开始运行,但无生产人员
检测项目:洁净区划分是否符合要求;确定自净时间参数;确定温度和湿度的稳定性;按粒子数确定洁净级别;确定压差;确定照度;确定噪声级;目视检查气流并检查换气次数。
三、动态验收(PQ)
设施已按规定的状态运行,有规定的人员子在场,并在商定的状态下进行
检测项目:验证洁净室分割制度;评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力;验证压差;检查洁净室运行文件的成套性;检查人员是否经过培训。
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